Plasma 设备 RFID 夹具防错系统
Plasma(等离子)清洗设备是半导体封装关键工艺设备,用于产品表面清洗和活化处理,以提高封装可靠性。无锡高通共有 10 台 Plasma 设备,每台需安装 7 个 TOOLING(工装),不同 TOOLING 对应不同产品和位置,部分 TOOLING 外形相似,人工肉眼难以区分,极易装错。TOOLING 装错会导致产品工艺参数错误,造成批量质量事故。传统管理方式依赖操作人员责任心,缺乏强制防错机制,无法在第一时间拦截错误。
采用 RockPlus MOM 制造运营管理平台下的 iOT 模块,为每个 TOOLING 安装 RFID 电子标签,在系统中定义每个 TOOLING 对应的产品型号和设备位置(1-7 号位)。选用耐高温 RFID 标签,可承受 Plasma 工艺 80°C 高温环境。在 10 台 Plasma 设备各工位安装 RFID 读写天线,通过 iOT 模块自动读取 TOOLING 编号并实时比对。采用 RockPlus iBOX 智能控制盒连接设备急停按钮回路,当 TOOLING 未到位或编号不匹配时自动触发急停停机。加装三色报警灯,异常时红灯闪烁并蜂鸣报警。提供追溯报表,记录 TOOLING 使用历史、产品关联信息及异常事件统计。
1. 10 台 Plasma 设备全部导入,TOOLING 装错事故由偶发降为 0 次
2. 强制停机确保错误无法继续,报警响应时间<1 秒
3. 质量追溯时间由数小时缩短至分钟级,追溯效率提升 90%
4. 取消人工核对环节,节省人力成本
5. 降低因质量事故导致的材料损失和返工成本
6. 满足客户审厂对追溯体系的严格要求
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