SECS/GEM 工具软件
工厂半导体设备通信协议各不相同,有 Socket、外部 API、DLL 调用等多种方式,还有很多设备没有标准协议,只有日志文件,需要解析日志才能获取数据。这些设备无法与工厂 EAP(设备自动化程序)系统集成,设备无法接入系统则不能使用,只能停置,直接影响生产。
采用 RockPlus IoT 模块下的 SECS/GEM 工具软件,将 100 台设备的各种协议(包括日志解析)统一转换为标准 SECS/GEM 协议,实现与工厂 EAP 系统的数据交互。涉及设备类型包括:贴片机、回流炉、印刷机、点胶机、轨道、机械臂(Loader/Unloader)等。主要功能包括:设备远程控制、程序自动下载、加工数据上报、异常信息采集、报警采集、FOUP RFID 产品信息采集(通过 FOUP 晶圆传送盒 RFID 读取产品信息,与 EAP 系统进行数据交换)等。
1. 100 台设备全部成功接入 EAP 系统,设备正常使用
2. 统一 SECS/GEM 协议标准,消除设备通信孤岛
3. 实现设备远程控制,减少现场操作
4. 程序自动下载,提高换线效率
5. 加工数据实时上报,生产过程透明化
6. 异常信息和报警实时采集,快速响应设备故障
7. FOUP RFID 产品信息自动采集,实现晶圆级产品追溯
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